依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級(jí)在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無(wú)塵

室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。

一、什么是無(wú)塵室

無(wú)塵室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。上海奧宣鋼結(jié)構(gòu)有限公司其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、經(jīng)典控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指

之塵埃為肉眼無(wú)法看見(jiàn)的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無(wú)法完全清除之灰塵。

無(wú)塵室一般分為電子、精密工業(yè)用Industrial Clean Room（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用Biological Clean Room（BCR）。

二、聯(lián)邦規(guī)格無(wú)塵室等級(jí)

現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子

限制值的NASA規(guī)格（美國(guó)航空署5340.2規(guī)格）。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級(jí)○○]。

例如：空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí)，表示為“等級(jí)10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。

三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級(jí)

一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí)，分為等級(jí)1、2•••8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，一次類推。21世界，最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無(wú)塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無(wú)塵化的需求也日益提高。因此在無(wú)塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

下圖為我司蘇州凈雅無(wú)塵室圖片：

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