依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵

室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

一、什么是無塵室

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。上海奧宣鋼結構有限公司其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、經(jīng)典控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指

之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。

無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用Industrial CleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產業(yè)用BiologicalCleanRoom（BCR）。

二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級

現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子